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气体稳流阀
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输入压力:≤0.6Mpa
输出流量范围:0-300ml/min 0-500ml/min 0-1000ml/min 0-2000ml/min
气密性:0.4Mpa/cm2
稳定性:在15-30分钟内其流量变化不大于1.5%ml
安装尺寸:外型尺寸:Φ38×103 安装孔:Φ12.5 进出气外接头:M8×1(一进两出)
应用范围:He、H2、Ar、Air等非腐性气体
输出流量:0-300ml/min(100KPa,N2)
稳流精度:≦0.5%
稳定性:在15~30分钟内其流量变化不大于1.5%ml
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